围绕工业母机、工业机器人、激光与增材制造、半导体及显示面板制造专用设备、精密仪器设备、智能物流装备、电池制造专用设备、新能源与智能网联汽车等领域
扶持领域
围绕工业母机、工业机器人、激光与增材制造、半导体及显示面板制造专用设备、精密仪器设备、智能物流装备、电池制造专用设备、新能源与智能网联汽车、航空装备与卫星应用、海洋工程装备、高性能医疗器械、高端能源装备及其他高端装备等领域，重点突破关键技术，提升核心部件、关键工艺的研发和系统集成水平，形成一批核心技术和高端产品，强化产业化和应用能力。
重点支持的细分领域：
（1）工业母机领域。围绕高精度立/卧式加工中心、超精密车削中心、高精度复合磨床、高速高精车铣复合加工中心、高速高精卧式铣车复合加工中心、微/小孔激光加工机床、高速五轴激光加工机床等高档数控机床，以及高速主轴、高速高精密轴承、精密滚珠丝杠导轨、刀库、转台等核心零部件及其上游材料开展研发及产业化。重点攻克微秒级抖动实时操作系统及总线主站技术。
（2）工业机器人领域。攻克机器人用减速器精密传动技术、材料技术与精密加工技术；研制高重复定位精度、高速抗抖动、驱控一体化的装配作业机器人（SCARA）、小型六关节机器人；研制具有高灵活性、自主避障、快速配置功能的协作机器人；支持电站检测维护机器人、救灾机器人等特种机器人的研发及产业化；支持轻载多关节机器人、SCARA机器人等工序中应用工艺研究；推动重载多关节工业机器人在汽车焊接、喷涂和总装等制造工序的应用工艺开发。
（3）激光与增材制造领域。支持高性能激光芯片、光调制芯片、高性能特种激光光纤、高功率光栅、整形镜、扫描振镜、3D打印头、高光束质量激光器及光束整形系统、高品质电子枪及高速扫描系统等核心器件；支持研制面向玻璃镀膜蚀刻等领域的新型激光刻蚀设备，研制面向金属材料加工的大功率、高可靠性的激光切割、焊接设备、增材制造设备；开展激光与增材制造设备在钛合金、碳纤维增强复合材料切割与制孔、大型薄壁构建激光焊接、化铣保护胶等应用工艺的研发与验证。
（4）半导体及显示面板制造专用设备领域。推动测试机、分选机和探针台等集成电路封装测试设备高端化、智能化；重点研发具备超大反应器的MOCVD设备；攻克阵列曝光机、PECVD设备、磁控等核心设备；研制面向OLED、柔性OLED显示器件模组的新型贴付、邦定设备；推动Module制程检测设备向Cell制程检测设备、Array制程检测设备发展。
（5）精密仪器设备领域。支持工业自动化测控仪器与系统、信息计测与电测仪器、科学测试分析仪器以及各类专用检测与测量仪器等高端化、品牌化发展，支持开展精密仪器设备基础新工艺、可靠性工程试验、可靠性检验检测，提高产品的质量可靠性和稳定性。
（6）智能物流装备领域。支持研制高效存取、模块化、标准化的智能立体柜等智能仓库装备；开发具备高负载、高精度的自动引导搬运车(AGV)等核心装备与部件；研制高速智能的自动分拣机、输送机等输送设备；研制“机械手+视觉系统”的智能抓取系统；研制高效、高可靠的仓库设备控制系统(WCS)等。发展智能物流系统，推动仓储物流从自动化走向集成化、数字化、柔性化与智能化。
（7）电池制造专用设备领域。研制涂布机、叠片机、卷绕机等锂电池制造核心设备；支持设备集成化发展，研制高速度、高精度、安全可靠的涂辊分一体机、激光卷绕一体机等多工序集成设备；加强电池检测设备研发；发展动力电池维护检测设备、电池系统回收利用装备。推动锂电池设备企业提前布局氢燃料电池设备业务，围绕氢燃料电堆系统、电池膜电极制造，重点研制催化剂喷涂机、压合机、焊接机等设备。
（8）智能网联汽车领域。支持具备技术实力的企业在多传感器融合感知技术、智能车载操作系统、车载计算平台、线控制动与转向、车载信息安全、人机交互与人机共驾等关键核心共性技术开展技术创新。
（9）航空装备与卫星应用领域。围绕航空电子元器件、微小卫星、通信卫星、卫星导航等航空航天装备和产品等领域，重点突破关键技术，提升核心部件、关键工艺的研发和系统集成水平，形成一批核心技术和高端产品，强化产业化和应用能力。
（10）海洋工程装备领域。支持海洋工程油气装备与特种船舶、海洋探采设备、海洋工程装备配套设备、海洋物流装备，加强水下智能机器人、智能船艇、深远海和极地开发装备等领域的关键技术攻关等。
（11）高端能源装备领域。研制核级数字化仪控系统、核燃料操作设备、电源装置等核电设备；研发高精度电测标准仪表和标准源、智能电表、用电信息采集装置等产品，支持提供智能配电网系统解决方案；突破二代高温超导带材及制造装备，发展燃气内燃机等分布式能源生产设备。
（12）其他高端装备领域。国家相关文件涵盖的高端装备领域，包括轨道交通装备、港口机械装备、大型环保及资源综合利用装备等，根据实际情况支持发展。
